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日立 VS1800 白光干涉顯微鏡

品牌：日立
型號(hào)： VS1800
產(chǎn)地：亞洲日本
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥500000

上海愛儀通網(wǎng)絡(luò)科技有限公司更新時(shí)間：2025-06-05 13:52:58

銷售范圍售全國

入駐年限第4年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品輪廓儀(6件)

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詳細(xì)介紹

納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800應(yīng)用光干涉現(xiàn)象，對(duì)微細(xì)的表面形貌進(jìn)行測量，可實(shí)現(xiàn)高性能薄膜、半導(dǎo)體、汽車零配件、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進(jìn)行多層膜的層結(jié)構(gòu)以及層內(nèi)部的異物測量。

測量表面形貌的新標(biāo)準(zhǔn)

隨著材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結(jié)構(gòu)的微細(xì)化，人們開始要求比傳統(tǒng)的普通SPM（掃描探針顯微鏡）、觸針式粗糙度測量儀及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測量精度。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800，使用更方便，測量精度跟高，測量范圍更大。此外，傳統(tǒng)的采用線粗的測量方式仍存在“測量位置導(dǎo)致的結(jié)果偏差”和“掃描方向?qū)е碌慕Y(jié)果偏差”等重大課題。VS1800的解決對(duì)策是通過參照國際標(biāo)準(zhǔn)ISO25178規(guī)定的表面形貌評(píng)估方法來計(jì)算參數(shù)，建立測量表面形貌的新標(biāo)準(zhǔn)，從而受到了各界的關(guān)注。

原子力顯微鏡的納米尺度3D探針測量系統(tǒng)AFM5500M同樣可實(shí)現(xiàn)高度的分辨率為0.1nm以下，與此相比，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800的一大特點(diǎn)在于面內(nèi)方向的測量范圍更大。發(fā)揮兩種測量系統(tǒng)各自的優(yōu)點(diǎn)，根據(jù)需求選擇合適的測量系統(tǒng)有利于生產(chǎn)率的提高。

■與普通測量儀器比較

優(yōu)點(diǎn)

1.高分辨率、大范圍

采用特別開發(fā)的算法，實(shí)現(xiàn)垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于無需依賴于物鏡的倍率即可實(shí)現(xiàn)較高的垂直方向分辨率，即使是大范圍（最大測量視野6.4 mm × 6.4 mm）的情況下，也能測量納米尺度的粗糙度、高差。

Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）

2.測量數(shù)據(jù)的重現(xiàn)性高

高度測量使用干涉條紋，將Z驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生的影響控制在最小程度，從而實(shí)現(xiàn)測量重現(xiàn)性誤差低于0.1%（Phase模式下）。

3.高速測量

通過以平面捕捉樣品，不對(duì)X、Y方向進(jìn)行掃描，從而實(shí)現(xiàn)高速測量，并且由于采用非接觸方式，測量時(shí)能夠保證不會(huì)給樣品帶來損傷。

4.無損傷測量

對(duì)于以往切割樣品后形成截面來對(duì)多層膜層結(jié)構(gòu)及層內(nèi)部進(jìn)行的異物測量，VS1800能夠以無損傷方式進(jìn)行。對(duì)于透明層結(jié)構(gòu)樣品，利用透鏡的高度坐標(biāo)以及各界面產(chǎn)生的反射光，通過各光學(xué)界面出現(xiàn)的干涉條紋輸出虛擬截面圖像。

5.測量簡單

搭載有可直觀性使用的操作畫面，可以當(dāng)場確認(rèn)處理后的圖像?？梢院唵蔚貙⑻幚砑胺治鰞?nèi)容列表、生成原始分析庫、重復(fù)使用分析庫等。還支持?jǐn)?shù)據(jù)的批量處理，統(tǒng)一管理多個(gè)樣品及分析結(jié)果，減輕繁雜的后處理程序。
此外，導(dǎo)入表面形貌評(píng)估方法的國際標(biāo)準(zhǔn)ISO25178的項(xiàng)目，自動(dòng)按每個(gè)樣品選擇合適的參數(shù)。VS1800搭載有可對(duì)參數(shù)選擇提供建議的工具，有助于提高管理的精度。

6.配置靈活

手動(dòng)XY樣品臺(tái)為基本型號(hào)Type 1，并提樣品臺(tái)電動(dòng)化逐級(jí)提升的Type 2以及Type 3。各型號(hào)的升級(jí)可通過需求來進(jìn)行，根據(jù)用途輕松引進(jìn)系統(tǒng)

規(guī)格

技術(shù)指標(biāo)

機(jī)型		Type 1	Type 2	Type 3
Z軸	馬達(dá)驅(qū)動(dòng)	標(biāo)配（Z軸移動(dòng)范圍～10㎜）
Z軸	PZT驅(qū)動(dòng)	新增選配（Z軸移動(dòng)范圍～150 μm）
XY樣品臺(tái)	驅(qū)動(dòng)方式	手動(dòng)	電動(dòng)
	移動(dòng)范圍	± 50 mm	± 75 mm
	樣品臺(tái)尺寸	W205 × D150 mm	W225 × D225 mm
測角臺(tái)	驅(qū)動(dòng)方式	手動(dòng)		電動(dòng)
測角臺(tái)	移動(dòng)范圍	± 2°	± 5°
測量相機(jī)		標(biāo)準(zhǔn)相機(jī)或高像素相機(jī)
鏡筒		× 1或 × 0.5
變焦透鏡		× 0.7透鏡（新增選配）
物鏡		× 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110
樣品高度	標(biāo)準(zhǔn)	0～50 mm
樣品高度	使用加高配件時(shí)	50～100 mm	0～100 mm
電腦OS		Windows 10
減震臺(tái)（帶支架）		被動(dòng)式或主動(dòng)式

軟件一覽

	標(biāo)配	新增選配
測量軟件	表面形貌測量	大傾斜角測量
分析軟件	ISO參數(shù)（參照ISO25178）輪廓分析、頻帶分解負(fù)荷曲線分析、顆粒分析熱歐姆轉(zhuǎn)換、線段分析	界面分析、層面分析截面面積、線測量