
擴(kuò)散泵
是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一,通常指油擴(kuò)散泵。是一種次級(jí)泵,它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。現(xiàn)在生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵抽速已達(dá)到 100000 L/s 以上,擴(kuò)散噴射泵的抽速也達(dá) 40000 L/s,蒸汽流真空泵在真空應(yīng)用領(lǐng)域中起著十分重要的作用。由于擴(kuò)散泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作和維護(hù)方便、使用壽命長(zhǎng)、對(duì)各種氣體均有較好的抽氣特性,因而它一直是獲得高真空的主要抽氣設(shè)備。
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