其它電子光學(xué)儀器

電子光學(xué)儀器是一種直接觀察研究物質(zhì)微觀形貌，成份和結(jié)構(gòu)與其宏觀性能（功能）之間關(guān)系的一類大型精密儀器。經(jīng)過近七十年的發(fā)展已成為科學(xué)技術(shù)中不可缺照得重要工具。常用的電子光學(xué)儀器有透射電鏡、掃描電鏡、電子探針顯微鏡、X射線能譜儀等，在材料科學(xué)、納米科學(xué)技術(shù)、生命科學(xué)技術(shù)、物理、化學(xué)、醫(yī)學(xué)、微電子學(xué)、半導(dǎo)體大規(guī)模集成電路制造等科技領(lǐng)域以及臨床診斷、刑事偵破、考古和工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛的應(yīng)用。