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產(chǎn)品中心

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美國PMS UltraChem? 40 化學(xué)品粒子計(jì)數(shù)器

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產(chǎn)品特點(diǎn)

UltraChem? 40化學(xué)品粒子計(jì)數(shù)器提供可靠的污染監(jiān)控，能夠檢測粒徑小至40nm的粒子。

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品介紹：


靈敏度: 40 - 125 nm



特點(diǎn)

  • 和許多不同的化學(xué)物相兼容

  • 靈敏度為40nm

  • 化學(xué)物包括：丙二醇甲醚醋酸酯、光刻膠溶劑、氟化氫（HF）和硫酸

  • 2年保修期

  • 固態(tài)激光二極管

  • 簡單設(shè)計(jì)

  • 在線或分批采樣能力

  • 多種通訊協(xié)議

優(yōu)點(diǎn)

  • 改善數(shù)據(jù)質(zhì)量的大采樣體積

  • 自適應(yīng)技術(shù)使得設(shè)備免受于粒子計(jì)數(shù)器的大部分光學(xué)污染

  • 監(jiān)測許多不同的化學(xué)物中的小粒子，包括高分子散射液體

  • 體積小，可安裝于各種位置

  • 快速診斷和隨機(jī)分配會(huì)通知您一個(gè)真正的粒子事件

應(yīng)用

  • 去離子水監(jiān)測

  • 化學(xué)物分布監(jiān)控

  • 化學(xué)物質(zhì)量保證

  • 浸潤式光刻


可用的配件

  • Facility Net軟件

    Facility Net軟件提供了一項(xiàng)全面環(huán)境監(jiān)測的解決方案，包含實(shí)時(shí)的以及歷史數(shù)據(jù)顯示。兼容的PMS粒子計(jì)數(shù)器和分子污染監(jiān)測器，以及各種第三方產(chǎn)品。

  • 液體安裝套件

    與在線應(yīng)用一起使用，液體安裝套件包括一個(gè) Flaretek?擴(kuò)口工具，25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烴管子和陽螺紋接頭


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