皮米精度位移激光干涉儀

昊量光電推出的皮米精度位移干涉測(cè)量?jī)xquDIS是對(duì)納米級(jí)別的位移波動(dòng)進(jìn)行量測(cè)的理想儀器，基于其獨(dú)特的測(cè)量原理，相對(duì)距離的重復(fù)精度達(dá)到了前所未有的50皮米。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測(cè)量通道，使其可以適用于任意的多軸測(cè)量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法，不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準(zhǔn)參考，通過激光波長(zhǎng)調(diào)諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實(shí)現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的JD距離測(cè)量，基于這種測(cè)量方式，使得quDIS相對(duì)其他產(chǎn)品測(cè)量距離可以達(dá)到20M的同時(shí)保持高精度，且與信號(hào)對(duì)比度和強(qiáng)度無關(guān)，由于使用整個(gè)干涉模式來提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號(hào)中提取得到。

             獨(dú)特的法珀腔+飽和吸收氣室構(gòu)造                               波長(zhǎng)的線性變化的引入在此構(gòu)造下使得JD距離的測(cè)量成為可能！

干涉?zhèn)鞲蓄^

       激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實(shí)現(xiàn)的，根據(jù)反射目標(biāo)的不同，不同的應(yīng)用都需要不同的準(zhǔn)直、聚焦和光束剖面約束。quDIS的傳感器頭均基于光纖設(shè)計(jì)。quDIS為常規(guī)情況下的使用提供標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直儀和定焦傳感頭，同時(shí)根據(jù)具體的需要以及惡劣環(huán)境下的應(yīng)用，也設(shè)計(jì)了響應(yīng)的特殊傳感頭。

 用于測(cè)量高溫漂移物體的傳感器頭的設(shè)計(jì)                                        

 鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數(shù)準(zhǔn)

皮米精度位移激光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn)

•  多維度多通道位移干涉器，操作簡(jiǎn)單，即插即用

•  相對(duì)距離和JD距離測(cè)量

•  完善的全套系統(tǒng)配置

•  實(shí)時(shí)輸出數(shù)字化圖像

•  針對(duì)不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

•  長(zhǎng)期使用保證穩(wěn)定性

•  兼容真空與各種惡劣環(huán)境

皮米精度位移激光干涉儀獨(dú)特優(yōu)勢(shì)：

•  JD距離高精度測(cè)量！

•  不存在非線性及周期性誤差！

•  相對(duì)距離信號(hào)穩(wěn)定性<0.05nm！

•  工作距離20m（與傳感頭相關(guān)）

•  目標(biāo)速度1m/s

•  三個(gè)傳感接口，可實(shí)現(xiàn)多設(shè)備同步

•  探測(cè)器分辨率達(dá)到1pm

  
  

皮米精度位移激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域：

•   極限環(huán)境下振動(dòng)分析

•   緩慢漂移及熱膨脹檢測(cè)

•   精密設(shè)備位置控制

•   納米級(jí)位移測(cè)量

•   層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測(cè)量

•   位移和振動(dòng)精度評(píng)估

皮米精度位置測(cè)量?jī)x參數(shù)列表：