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五溫區(qū)CVD管式燒結(jié)爐

品牌：河南諾巴迪
型號： NBD-O1200-80T5G
產(chǎn)地：河南鄭州
供應(yīng)商報價：面議

河南諾巴迪材料科技有限公司更新時間：2025-06-06 11:01:56

銷售范圍售全國

入駐年限第9年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品CVD系統(tǒng)(9件)

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五溫區(qū)CVD管式燒結(jié)爐核心參數(shù)

穩(wěn)定性

控溫精度：±1

最高溫度

1200℃

產(chǎn)品特點

多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿足各類薄膜沉積，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用Z為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡介：

多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿足各類薄膜沉積，在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。包括沉積大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。

設(shè)備簡介：

1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越；

2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果優(yōu)越，降低設(shè)備功耗；

3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋；

4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對話模式，實時加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實驗報告自主生成，實驗數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。

5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)；

產(chǎn)品型號

NBD-O1200-80T5G5

爐管尺寸

?25/?50/?60/?80/?100*1600mm

工作溫度

≤1150℃

加熱區(qū)選擇(可定制）

200mm*5或300mm*5

升溫速率

≤20℃/min

電氣規(guī)格

三相AC380V 10KW

氣體系統(tǒng)（可選購）

浮子流量計或質(zhì)量流量計

管道示意圖

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4（多路可選）

流量范圍

20-250/20-800ml/min......(多量程可選)

50/100/200/500sccm......(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)（可選購）

真空泵型號

NBD-3C/NBD-4C

抽氣速率

3L/s或4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

KF16/25

系統(tǒng)真空

3~5Pa（真空泵極限真空6.2*10-2Pa）

工作環(huán)境溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

高真空系統(tǒng)（可選購）

真空泵型號

NBD-103(A)

抽氣速率

110L/s

真空測量計

復(fù)合真空計

系統(tǒng)真空

4.310^-3Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢

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