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產(chǎn)品中心

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ZEP520A 電子束光刻膠

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產(chǎn)品特點(diǎn)

ZEP520A是一種高性能正電子束電阻,具有高分辨率、高分辨率敏感性和耐干腐蝕性。適用于各種電子束工藝。

詳細(xì)介紹

商品詳情

超高分辨率電子束光刻膠:ZEP520A


特性

ZEP520A是一種有超高分辨率、耐干法蝕刻特性的非化學(xué)增幅(斷鏈型)負(fù)性電子束光刻膠。是目前世界上性能最hao的電子束光刻膠之一,其優(yōu)良的性能在行業(yè)內(nèi)受到廣泛的認(rèn)可。


電子束光刻膠產(chǎn)品表


電子束光刻膠專用顯影液

  • Developer product lineup


旋涂曲線

Spin Curve


超高分辨率

ZEP520A分辨率高達(dá) L/S=25nm/25nm(FT=50nm)
顯影液:ZED-N50

樣品測(cè)評(píng):用苯甲醚將ZEP 520 A-7稀釋2.1倍



 ZEP520A高解像性(2)


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