? 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
? 高溫度范圍-60°C至300°C
? 大的靈活性
? 具有特定設(shè)計(jì)的電纜接口的與功能測試儀的小電纜距離，可實(shí)現(xiàn)更好的測量方向性
? 小的卡盤到工作臺(tái)面高度可實(shí)現(xiàn)佳mmW和內(nèi)部節(jié)點(diǎn)探測
? 通過在內(nèi)部集成熱系統(tǒng)的冷卻器，將系統(tǒng)占地面積降至低

結(jié)合了MPI的IceFreeEnvironment?，TS3000可以在-60至300°C的寬溫度范圍內(nèi)對(duì)300mm的晶片進(jìn)行微型定位器和（或）探針卡測試，并具有在膠片框架上進(jìn)行探測的附加功能。

探針懸停控制

MPI探針懸?？刂芇HC?允許輕松手動(dòng)控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計(jì)反饋精確控制，以實(shí)現(xiàn)探針到晶圓的精確定位。

超大面積工作臺(tái)

TS3000系列提供了易于使用的大型探針座放置臺(tái)面，以適應(yīng)多達(dá)12套直流或4套射頻的微定位器。

集成了負(fù)載拉力調(diào)諧器或更大面積的微型定位器，使得TS3000系統(tǒng)成為RF和mmW測量的理想選擇。

快捷的晶圓裝載

雙門通道和獨(dú)特的卡盤設(shè)計(jì)使150、200、300mm晶圓，及微小器件的快速更換

兩只陶瓷用射頻校準(zhǔn)AUX卡盤位于面，可以很方便地進(jìn)行裝卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探針系統(tǒng)中，并基于數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)和客戶互動(dòng)而設(shè)計(jì)，隱藏式的鍵盤、鼠標(biāo)增加整體美觀。

溫控系統(tǒng)

MPI和ERS共同設(shè)計(jì)了新型300 mm熱卡盤AirCool?PRIME 系列，具有無與倫比的熱靈活性，可將變溫時(shí)間減少60％，

減少轉(zhuǎn)換時(shí)間，改善電氣性能，在惰性氣體氣氛下進(jìn)行更輕松的測試以及現(xiàn)場可升性是AirCool?PRIME熱卡盤系統(tǒng)的附加價(jià)值。

便捷式的觸摸屏實(shí)時(shí)顯示卡盤溫度，該觸摸屏位于操作員方的便利位置，以實(shí)現(xiàn)快速的操作和即時(shí)的反饋。

ERS獨(dú)特的AC3冷卻技術(shù)

MPI旗下全系列探針臺(tái)系統(tǒng)均采用ERS獨(dú)特的AC3冷卻技術(shù)和自我管理系統(tǒng)，可使用回收的冷卻空氣吹掃M(jìn)PI ShielDEnvironment?，與市場上的其他系統(tǒng)相比，可大幅減少30％至50％的空氣消耗。

探針卡和微型定位器

多達(dá)12套DC或4套DC和4套射頻微型定位器，及4.5英寸的標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具，使該系統(tǒng)成為設(shè)計(jì)驗(yàn)證和（或）故障分析工作的理想選擇。

安全測試管理（STM）系統(tǒng)

獨(dú)特的STM系統(tǒng)可防止在測試過程中打開門，以保證測量結(jié)果很安全。在負(fù)吸盤溫度期間，任何情況下都無法意外打開任何系統(tǒng)門。獨(dú)特的智能露點(diǎn)控制程序可避免冷測試期間的積聚。系統(tǒng)自動(dòng)監(jiān)視CDA或氮?dú)獾牧髁?。如果流量中斷或流量不足，則STM?會(huì)自動(dòng)將卡盤轉(zhuǎn)換為安全模式，盡快將卡盤加熱至露點(diǎn)以上。MPI STM?的功能是通過自動(dòng)保持安全的測試環(huán)境，使TS3000的測量更加安全，可靠和方便。

儀器集成

可選的儀器架可縮短電纜長度，并提高 RF和mmW 應(yīng)用中的測量動(dòng)態(tài)性和方向性。