大尺寸脈沖激光沉積系統(tǒng)

• ?全自動大尺寸PLD系統(tǒng)
  
  ?晶圓尺寸:4 "(100毫米)，6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直徑
  
  ?外延薄膜、多層異質(zhì)結構和超晶格的沉積
  
  ?高溫下氧化膜沉積的氧相容性
  
  ?自動激光掃描厚度均勻性

• 詳細介紹

• 產(chǎn)品簡介

  Neocera大尺寸PLD系統(tǒng)用于在各種襯底上沉積各種高質(zhì)量的薄膜，晶圓（wafer）直徑可達8 "(200毫米)。基片旋轉(zhuǎn)結合激光掃描提供整個晶圓區(qū)域的厚度均勻性。激光束掃描附件采用了獨特的Neocera設計，當激光束掃描時，可以在目標上產(chǎn)生固定的激光通量(J/cm2)。當激光束通過目標表面掃描時，激光束掃描使用獨特的掃描程序。激光位置在目標上的停留時間遵循逆速度程序，促進了薄膜厚度的良好控制。用戶可以完全控制掃描參數(shù)的必要改變，厚度輪廓取決于沉積壓力。

  
  

  產(chǎn)品特點
  

  ?全自動大尺寸PLD系統(tǒng)

  ?晶圓尺寸:4 "(100毫米)，6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直徑

  ?外延薄膜、多層異質(zhì)結構和超晶格的沉積

  ?高溫下氧化膜沉積的氧相容性

  ?自動激光掃描厚度均勻性

  
  

  技術參數(shù)
  

  1.襯底尺寸:(直徑)4 " (100mm)，6 " (150mm)和8 " (200mn)

  2.PLD腔室尺寸:18英寸直徑球體或圓柱體。

  3.襯底加熱:850 ℃(4 "wafers))，750℃(6 "wafers)，700℃(8" wafers)

  4.目標旋轉(zhuǎn): 直徑4 × 2"

  5.厚度均勻性: ±5%或更好。

  6.工業(yè)氣體: O2, N2, Ar， (MFC控制)

  7.Loadlocks: 包括

  8.自動化: Windows 7, LabView 2013