一.產(chǎn)品簡(jiǎn)介

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法，是高精度、高靈敏度的檢測(cè)手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號(hào)，然后通過(guò)高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。

二.功能特點(diǎn)

1. 測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

2. 具有實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能?？梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線(xiàn)度；并且可滿(mǎn)足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。

3. 可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿(mǎn)足機(jī)床誤差修正的要求。

4. 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線(xiàn)、速度-時(shí)間曲線(xiàn)、加速度-時(shí)間曲線(xiàn)）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

5. 內(nèi)置各種類(lèi)國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（國(guó)際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線(xiàn)圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

6. 可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

7. 測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類(lèi)型、生產(chǎn)單位、出廠(chǎng)編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢(xún)和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

三.激光干涉儀線(xiàn)性測(cè)量方法

（1）安裝設(shè)置激光干涉儀
　　（2）將激光束與被測(cè)量的軸校準(zhǔn)
　?。?）啟動(dòng)測(cè)量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。
　　（4）在機(jī)床上輸入測(cè)量程序，啟動(dòng)干涉儀測(cè)量，并記錄數(shù)據(jù)。
　?。?）用測(cè)量軟件分析測(cè)量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補(bǔ)償文件。
　　光束快速準(zhǔn)直步驟
　?。?）沿著運(yùn)動(dòng)軸將反射鏡與干涉鏡分開(kāi)。
　?。?）移動(dòng)機(jī)床工作臺(tái)，當(dāng)光束離開(kāi)光靶外圓時(shí)停止移動(dòng)。
　　垂直光束調(diào)整
　　（3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。
　?。?）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn)，直到兩道光束都擊中光靶中心。
　　水平光束調(diào)整
　　（5）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，使兩道光束彼此重疊。
　　（6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。
　?。?）沿著運(yùn)動(dòng)軸重新開(kāi)始移動(dòng)機(jī)床工作臺(tái)。在看到光束移開(kāi)光靶時(shí)再次停止。重復(fù)步驟3到6，直到完成整個(gè)軸向的光鏡準(zhǔn)直。
　?。?）達(dá)到軸的末端時(shí)，將機(jī)床移回，使反光鏡及線(xiàn)性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開(kāi)光閘的光靶，是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動(dòng)反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。
　　重復(fù)步驟1到8，直到兩道光束在整個(gè)運(yùn)動(dòng)軸長(zhǎng)度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。
　?。?）保持光束和測(cè)量軸準(zhǔn)直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測(cè)量位置。當(dāng)反光鏡沿著機(jī)床的整個(gè)運(yùn)動(dòng)長(zhǎng)度移動(dòng)時(shí)，檢查線(xiàn)性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號(hào)強(qiáng)度。