產品介紹：

MICROCHEM SU-8 負性化學放大膠
高深寬比，亞微米分辨率,側壁陡直
適合I-line，寬光譜,電子束，X射線曝光
熱穩(wěn)定性>300C
可用于基于酸性溶液的電鑄工藝

SU-8 2000 系列
厚度范圍，單層涂膠厚度為0.5 to > 200 μm
更多揮發(fā)性溶劑，與傳統(tǒng)去邊工藝兼容
降低了極性溶劑含量，減小表面張力
表面活性成分，改善涂覆效果
多用于 MEMS,微流以及光電子器件制作

SU-8 3000系列
SU-8 3000常用于性結構制作，較SU-8 2000具有更好的基底粘附力，更不易于在工藝過程中產生內應力積累。常用于光電器件，MEMS芯片制作，以及作為芯片絕緣、保護層使用。