電子探針(EPMA)是用極細(xì)的電子束對(duì)樣品表面進(jìn)行照射產(chǎn)生特征性X射線，對(duì)特征性X射線進(jìn)行分光和強(qiáng)度測(cè)定，得到微小區(qū)域的元素組成及樣品表面元素濃度分布的分析裝置。EPMA 采用波長(zhǎng)色散型X 射線分光器（WDS），與能量色散型X 射線分光器（EDS）相比，具有高分辨率的特點(diǎn)。因此，EPMA與掃描型電子顯微鏡（SEM）配置EDS 檢測(cè)器比較，可以進(jìn)行更高精度和更高靈敏度的分析。

技術(shù)特點(diǎn)：

島津電子探針EPMA-1720系列

優(yōu)勢(shì)在于傳承52.5°的高X射線取出角技術(shù)，可以進(jìn)行高靈敏度的X射線測(cè)定。

高速穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)，可以高精度設(shè)定分析位置和分析區(qū)域。

配備各種自動(dòng)功能和聯(lián)動(dòng)功能，電子束的設(shè)定簡(jiǎn)單易行。

集多年分析經(jīng)驗(yàn)于一體的控制?分析軟件，實(shí)現(xiàn)了從數(shù)據(jù)采集到數(shù)據(jù)解析及報(bào)告制作的清晰易懂、操作便捷的良好操作環(huán)境。

對(duì)于初學(xué)者，裝備了從SEM 觀察到定性分析?成圖分析的簡(jiǎn)易可行的簡(jiǎn)單模式。

數(shù)據(jù)瀏覽程序可以方便地進(jìn)行數(shù)據(jù)的批次管理。