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JEOL內(nèi)置型等離子源 BS-80011BPG

品牌：日本電子
型號(hào)： BS-80011BPG
產(chǎn)地：亞洲日本
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司更新時(shí)間：2025-06-14 12:51:26

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品日本電子 JEOL 掃描電鏡(35件)

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JEOL內(nèi)置型等離子源 BS-80011BPG 核心參數(shù)

加速電壓	詳見資料	放大倍數(shù)	詳見資料
分辨率	詳見資料	抽真空時(shí)間	詳見資料
真空度	詳見資料

產(chǎn)品特點(diǎn)

日本JEOL產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子源 BS-80011BPG，安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)（離子鍍），能提高光學(xué)薄膜、保護(hù)膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對(duì)清洗基板和表面改性也很有效。

詳細(xì)介紹

BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子源

安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)（離子鍍），能提高光學(xué)薄膜、保護(hù)膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對(duì)清洗基板和表面改性也很有效。

· 產(chǎn)品規(guī)格

最大放電輸出	3.2kW (160V, 20A)
最大輔助輸出功率	2kW (200V, 10A)
工作壓力	8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 氣氛)
放電氣體(Ar)	8 ～ 20mL/分
適用控制電源	BS-92040CPPC