Horiba 相位調(diào)制型橢圓偏振光譜儀 UVISEL Plus

基于新式的電子設(shè)備，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，F(xiàn)astAcqTM技術(shù)能夠?yàn)橛脩籼峁└叻直婕翱焖俚臄?shù)據(jù)采集，雙單色儀系統(tǒng)可達(dá)到0.1-2 nm。

AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點(diǎn)，使得數(shù)據(jù)采集分析更加簡(jiǎn)便，易于非專業(yè)人員上手操作。

速度提升1.5倍

UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術(shù)，可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測(cè)試（190-2100 nm），校準(zhǔn)僅需幾分鐘。

靈敏度提升2倍

基于25年經(jīng)驗(yàn)，UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制，可用于各種樣品的精確測(cè)量，全新的FastAcqTM速采集技術(shù)使得測(cè)試靈敏度提高至原有的兩倍，從而能獲得面薄膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息。

靈活拓展

UVISEL Plus橢偏儀模塊化設(shè)計(jì)，可靈活拓展，以適應(yīng)的應(yīng)用及預(yù)算需求。相較于其他供應(yīng)商，UVISEL Plus統(tǒng)的可升級(jí)性能將更好的滿足您未來(lái)的應(yīng)用需求。

優(yōu)秀的性能

UVISEL Plus基于相位調(diào)制技術(shù)，相位調(diào)制與高質(zhì)量消色差光學(xué)設(shè)計(jì)的特有結(jié)合提供了無(wú)可匹的膜厚測(cè)試效果。

?信號(hào)采集過(guò)程無(wú)移動(dòng)部件

?光路中無(wú)增加元件

?高頻調(diào)制 50 kHz

?測(cè)試全范圍的橢偏角，Ψ (0-90，Δ (0-360)

規(guī)格