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四電弧提拉法單晶生長(zhǎng)爐

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詳細(xì)介紹

SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長(zhǎng)爐是一款采用4電弧的提拉法單晶生長(zhǎng)爐(采用Ar氣電弧對(duì)樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達(dá)3000℃。腔體為304不銹鋼腔體(帶有水冷夾層),真空度可達(dá)10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長(zhǎng)高熔點(diǎn)的單晶,如Ti單晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。

產(chǎn)品名稱(chēng)

SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長(zhǎng)爐

技術(shù)參數(shù)

腔體

1、采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水

2、腔體上安裝有石英窗口,以便觀察樣品

3、腔體真空度:10-5Torr(采用分子泵)

4、腔體尺寸:Φ257*360mm

真空計(jì)

1、腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計(jì)和機(jī)械壓力表

電弧槍

1、共有4個(gè)電弧槍?zhuān)勺寴悠返玫骄鶆虻臏貓?chǎng)(電弧槍都帶有冷卻水)

2、鎢電極直徑為Φ4mm

3、電弧腔體對(duì)樣品的角度和距離可手動(dòng)調(diào)節(jié)

4、起弧電源: 18 V / 185 A 電壓380V

5、熔煉溫度可達(dá)3000℃

樣品臺(tái)

1、采用水冷銅坩堝

2、可投如樣品量為60g(按鐵計(jì)算)

提拉機(jī)構(gòu)

1、控制器控制提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度,轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速

2、提拉速度:0.2-10mm/h

3、提拉行程:0-70mm

4、轉(zhuǎn)速:0-40RPM

控制單元

1、可顯示和設(shè)置單晶生長(zhǎng)的參數(shù)(起弧電流,提拉桿轉(zhuǎn)速,提拉行程和轉(zhuǎn)速)

真空泵

1、設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)(機(jī)械泵+渦旋分子泵)

2、抽氣速率:100L/S

3、可使設(shè)備腔體的真空度達(dá)到10-5Torr(40分鐘內(nèi))

循環(huán)水冷機(jī)

1、功率:800W

2、水流速度:58L/min

3、制冷能力:5004W(17500Btu/hour)

4、溫度控制:5~30°C

產(chǎn)品規(guī)格

設(shè)備尺寸:800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)


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