XYθ 平臺

XY 平臺電動／手動

手動

XYθ平臺

XY 自動平臺 馬達(dá)

-

XY 自動平臺 分辨率

XY 自動平臺 移動速度

XYθ 平臺

XY 平臺移動量

X ：±37.5 mm、Y ：±25 mm

θ 旋轉(zhuǎn)角

360 度

XYθ 平臺尺寸

上方 180 × 136 mm

透過照明觀測對應(yīng)倍率

-

對焦Z 軸

Z 模塊 電動/ 手動

電動

Z 自動模塊 馬達(dá)

2 相步進(jìn)馬達(dá)

Z 自動模塊 分辨率

1 μm (typ.)

Z 自動模塊 移動速度

5 mm/sec (max)

Z 模塊 移動量

電動：29 mm 手動：33 mm

Z 平臺

Z 平臺電動／手動

手動

Z 自動平臺馬達(dá)

-

平臺Z 軸

Z 自動平臺 分辨率

Z 平臺

Z 自動平臺移動速度

Z 平臺移動量

47 mm

側(cè)面相機(jī)

無

載重

1 kg

額定

電源電壓

DC 12 V

消耗功率

18 V

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

+5 至 40℃

相對濕度

35 至 80％ RH（ 無凝結(jié)）

重量

約 14.2 kg