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SMEE 600系列光刻機(jī) —— IC前道制造

品牌：上海品測
型號(hào)： SMEE 600
產(chǎn)地：上海嘉定區(qū)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

上海品測精密儀器有限公司

銷售范圍售全國

入駐年限第5年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備(15件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，以及自減振六自由度工件臺(tái)掩模臺(tái)技術(shù)，可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求。該設(shè)備可用于8寸線或12寸線的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

SMEE 600系列光刻機(jī) —— IC前道制造

主要技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	SSA600/20	SSC600/10	SSB600/10
分辨率	90nm	110nm	280nm
曝光光源	ArF excimer laser	KrF excimer laser	i-line mercury lamp
鏡頭倍率	1:4	1:4	1:4
硅片尺寸	200mm或300mm	200mm或300mm	200mm或300mm