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安捷倫 CDG-500 電容薄膜真空計

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產(chǎn)品特點

Agilent CDG-500 系列溫度補償電容薄膜真空計可在高壓區(qū)域內(nèi)提供Z高水平的準確度??商峁?1000 Torr 至 1 Torr (1.3–1333 mbar) 的全量程測量。

詳細介紹

產(chǎn)品介紹:

Agilent CDG-500 系列溫度補償電容薄膜真空計可在高壓區(qū)域內(nèi)提供最 高水平的準確度??商峁?1000 Torr 至 1 Torr (1.3–1333 mbar) 的全量程測量。

CDG-500 系列采用耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷隔膜,可提供超常的信號穩(wěn)定性,并具有從大氣環(huán)境中快速恢復(fù)、預(yù)熱時間短和堅固性無與倫比的特點。

廣泛應(yīng)用于薄膜和真空工藝、工業(yè)真空、數(shù)據(jù)存儲和半導(dǎo)體制造等應(yīng)用。


特性
  • 全量程為 1–1000 Torr (1.3–1333 mbar),按鈕調(diào)零,可選設(shè)定點控制易于集成

  • 優(yōu)異的長期信號穩(wěn)定性和重現(xiàn)性

  • 從大氣壓下恢復(fù)迅速,啟動后迅速達到穩(wěn)定狀態(tài),縮短了過程循環(huán)時間

  • 采用耐腐蝕陶瓷傳感器和屏蔽保護,確保了堅固耐用

  • 最 高水平的準確度(讀數(shù)的 0.2%)


性能指標
準確度
  • 0.2%

響應(yīng)時間
  • 30 ms

操作環(huán)境溫度
  • +5 to +50 °C

最高烘烤溫度
  • 110 °C

模擬輸出
  • 0-10 VDC

貯存環(huán)境溫度
  • –40 至 +65 °C


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