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瑞奇精密 RQC-2S 全自動磁控離子濺射儀

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RQC-2S全自動磁控離子濺射儀

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低氣壓下氣體的輝光放電現(xiàn)象:
  • ?  靶材后有永磁鐵

  • ?  靶材上施加電壓為-400 ~ -600V,樣品臺接地

  • ?  絕大部分電子和負(fù)離子在電場和磁場的共同作用下,做螺旋線運(yùn)動,

     單個(gè)電子電離的氣體分子大大多于直流,因此,在較好的真空、較  低的電壓下即可獲得較大的電流;

  • ?  在磁場在作用下,絕大部分電子和部分負(fù)離子落在靶材附近,無法 到達(dá)樣品臺,對樣品基本沒有熱損傷


工作特點(diǎn):  濺射電流與壓力無關(guān)、基本沒有熱損傷

應(yīng)用領(lǐng)域:  適用于所有樣品,尤其是溫度敏感性樣品、如生物、聚合物等樣品      

                   工作時(shí)真空度好,鍍膜的顆粒度更小,更適用場發(fā)射等高分辨觀測  電極制備

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