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產(chǎn)品中心

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LBIC-S1光電流 IV/IT/ 成像測試系統(tǒng)

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產(chǎn)品特點

微納光電成像測試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段,通過不同波長激光進行探測,分析表征光電子器件的短路電流分布,表面缺陷, 反射率等參數(shù)。并通過掃描獲得的圖像,分析各種參數(shù)的平面均勻性,為光電器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流,光電流信號通過探針引出至電流源表,再通過軟件讀出。掃描時,通過電動位移臺的移動,激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動, 軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應(yīng)的電流值,在軟件上同步描繪出光電流成像圖,顯示了樣品的電流分布。

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產(chǎn)品簡介

微納光電成像測試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段,通過不同波長激光進行探測,分析表征光電子器件的短路電流分布,表面缺陷, 反射率等參數(shù)。并通過掃描獲得的圖像,分析各種參數(shù)的平面均勻性,為光電器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流,光電流信號通過探針引出至電流源表,再通過軟件讀出。掃描時,通過電動位移臺的移動,激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動, 軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應(yīng)的電流值,在軟件上同步描繪出光電流成像圖,顯示了樣品的電流分布。

技術(shù)參數(shù)

激光器(光源)標配532nm激光器,能量穩(wěn)定性1%@4小時
顯微鏡模塊反射式/透射式LED照明

物鏡:標配(20X, WD=7.5mm) 超長工作距離 ,掃描范圍:260 x 200 μm (20x物鏡下) 位置重復(fù)性:小于1 μm

掃描步長:0.2μm  激光光斑:2μm

數(shù)據(jù)采集電流源表:Keithley 2450

測量范圍:1nA ? 1A 暗噪聲:50pA 分辨率:20fA

探針臺模塊直徑65mm真空吸附卡盤 探針座和樣品整體二維移動,樣品位置單獨二維移動,樣品位置移動行程25mm,分辨率5μm 探針座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm 探針:鎢針,直徑5μm,10μm,20μm可選
軟件光電流掃描(Mapping):可以設(shè)定固定的電壓,逐點獲取電流值

I-V曲線掃描(Mapping):可以設(shè)定指定的電壓區(qū)間,逐點獲取I-V曲線 指定區(qū)域掃描(Mapping)

光譜響應(yīng)度測試(選配)光譜范圍200-1100nm,可以擴展到2500nm

光譜響應(yīng)度曲線 量子效率曲線 偏壓設(shè)置功能

激光器(選項)波長:405nm或者635nm可選,其他波長咨詢銷售

能量穩(wěn)定性:小于1%@2個小時 功率:10mW和30mW(可選)

測試案例:

     


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