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OAI - 光刻機(jī)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

全面的曝光系統(tǒng)
0.5μ 精確正面對(duì)準(zhǔn)
1μ 正反面對(duì)準(zhǔn)
高產(chǎn)量:170 WPH in 1st Mask Mode
均勻性優(yōu)于 ±3%
適用于各種規(guī)格的芯片
自動(dòng)平衡補(bǔ)償
適用于超強(qiáng)工藝的重復(fù)性要求
亞微米分辨率

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:

OAI Series 6000 生產(chǎn)型曝光機(jī)

全面的曝光系統(tǒng)
  • 0.5μ 精確正面對(duì)準(zhǔn)

  • 1μ 正反面對(duì)準(zhǔn)

  • 高產(chǎn)量:170 WPH in 1st Mask Mode

  • 均勻性優(yōu)于 ±3%

  • 適用于各種規(guī)格的芯片

  • 自動(dòng)平衡補(bǔ)償

  • 適用于超 強(qiáng)工藝的重復(fù)性要求

  • 亞微米分辨率

 

 


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