亚洲无码综合视频,激情综合亚洲色婷婷五月,av大片在线无码永久免费网址,三上悠亚在线精品二区

儀器網(wǎng)(yiqi.com)歡迎您!

| 注冊 登錄
網(wǎng)站首頁-資訊-專題- 微頭條-話題-產(chǎn)品- 品牌庫-搜索-供應(yīng)商- 展會(huì)-招標(biāo)-采購- 社區(qū)-知識(shí)-技術(shù)-資料庫-方案-產(chǎn)品庫- 視頻

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:儀器網(wǎng)>產(chǎn)品中心> 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司>膜厚儀>Thetametrisis膜厚儀>FR-Scanner自動(dòng)化高速薄膜厚度測量儀
收藏  

FR-Scanner自動(dòng)化高速薄膜厚度測量儀

立即掃碼咨詢

聯(lián)系方式:400-852-9632

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明在儀器網(wǎng)(www.sewtec.com.cn)上看到的!

掃    碼    分   享
為您推薦

產(chǎn)品特點(diǎn)

顯示器薄膜測量儀*的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此,在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:

Thetametrisis顯示器薄膜測量儀 FR-Scanner 是一種緊湊的臺(tái)式工具,適用于自動(dòng)測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快速和準(zhǔn)確測量薄膜特性:厚度,折射率,均勻性,顏色等。真空吸盤可應(yīng)用于任何直徑或其他形狀的樣片。

  1、應(yīng)用
  半導(dǎo)體生產(chǎn)制造:(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu), poly-Si, Si, DLC, )
  光伏產(chǎn)業(yè)
  液晶顯示
  光學(xué)薄膜
  聚合物
  微機(jī)電系統(tǒng)和微光機(jī)電系統(tǒng)
  基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
  Thetametrisis顯示器薄膜測量儀*的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此,在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。
  Thetametrisis顯示器薄膜測量儀 FR-Scanner 通過高速旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和光學(xué)探頭直線移動(dòng)掃描晶圓片(極坐標(biāo)掃描)。通過這種方法,可以在很短的時(shí)間內(nèi)記錄具有高重復(fù)性的精確反射率數(shù)據(jù),這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。
  2、特征
  單點(diǎn)分析(不需要預(yù)估值)
  動(dòng)態(tài)測量
  包括光學(xué)參數(shù)(n和k,顏色) o 為演示保存視頻
  600 多種的預(yù)存材料
  離線分析
  免費(fèi)軟件更新


2.png


3、性能參數(shù)


3.png


4、測量原理
  白光反射光譜(WLRS)是測量從單層薄膜或多層堆疊結(jié)構(gòu)的一個(gè)波長范圍內(nèi)光的反射量,入射光垂直于樣品表面,由于界面干涉產(chǎn)生的反射光譜被用來計(jì)算確定(透明或部分透明或*反射基板上)的薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)(n和k)等。


4.jpg


      1、樣片平臺(tái)可容納任意形狀的樣品。450mm平臺(tái)也可根據(jù)要求提供。真正的X-Y掃描也可能通過定制配置;

  2、硅基板上的單層SiO2薄膜的厚度值。對(duì)于其他薄膜/基質(zhì),這些值可能略有不同;
  3、15天平均值的標(biāo)準(zhǔn)差平均值。樣品:硅晶片上1微米的二氧化硅;
  4、2 X (超過15天的日平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差)。樣品:硅晶片上1微米的二氧化硅;
  5、測量結(jié)果與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀比較;
  6、根據(jù)材料;
  7、測量以8 "晶圓為基準(zhǔn)。如有特殊要求,掃描速度可超過1000次測量/每分鐘;
  如果您想要了解更多關(guān)于Thetametrisis膜厚儀的產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。


廠商推薦產(chǎn)品

在線留言

上傳文檔或圖片,大小不超過10M
換一張?
取消