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產(chǎn)品中心

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Nano X-2000S白光干涉儀

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產(chǎn)品特點(diǎn)

白光干涉儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

白光干涉儀介紹:

NanoX-2000/3000系列、3D光學(xué)白光干涉儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。


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白光干涉儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
 
  1、美國(guó)硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件。
 
  2、關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等。
 
  3、PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)。
 
  4、Nikon干涉物鏡。
 
  5、NI信號(hào)控制板和Labview64 控制軟件。
 
  6、TMC光學(xué)隔振臺(tái)。
 
  7、測(cè)量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到不錯(cuò)的水平(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院證書)。
 
  如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,幫您實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。

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