日立IM4000Plus離子研磨儀利用氬離子對(duì)樣品即可以進(jìn)行平面研磨，也可以進(jìn)行截面切割，是對(duì)樣品進(jìn)行無(wú)應(yīng)力加工的理想工具，不會(huì)產(chǎn)生傳統(tǒng)的切割或機(jī)械拋光帶來(lái)的變形錯(cuò)位、機(jī)械應(yīng)力或劃痕污染等對(duì)樣品的形貌觀察和結(jié)構(gòu)分析帶來(lái)的不利影響，通過(guò)制冷功能可以對(duì)受熱易損傷的樣品進(jìn)行加工。

主要特點(diǎn)：
1. 即可進(jìn)行截面切割，也可進(jìn)行平面研磨
2. 加工效率更高，截面約500μm/h
3. 程序控制間歇式加工
4. 通過(guò)制冷功能可以對(duì)受熱易損傷的樣品進(jìn)行加工
 
應(yīng)用領(lǐng)域：
1. LED、PCB等半導(dǎo)體行業(yè)
2. 頁(yè)巖氣
3. 高分子材料

案例圖：

1、樣品：彩色打印用紙截面（多層結(jié)構(gòu)）
放大倍率：1萬(wàn)倍

           刀片切割方式制樣                                                           IM4000 plus離子研磨截面切割

2、樣品：鋰電池隔膜截面    
放大倍率：2萬(wàn)倍

            沒(méi)使用制冷研磨                                                                         使用制冷研磨

3、樣品：金線焊接處截面           
放大倍率：1萬(wàn)倍

             機(jī)械拋光處理后                                                             IM4000 plus離子研磨平面處理