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Opal 光學(xué)參數(shù)自動(dòng)測量系統(tǒng)

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詳細(xì)介紹

OPAL系統(tǒng)是在Optino基礎(chǔ)上,增加馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的精密導(dǎo)軌,和樣品專用夾具,系統(tǒng)可自動(dòng)尋找焦點(diǎn),從而使得測試工作自動(dòng)化,省去了在使用Optino時(shí)搭建測試光路上的時(shí)間。特別是,在具備Optino的所有功能上,OPAL還可對(duì)曲率半徑進(jìn)行測量!

適用于產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)室使用的波前測試儀器

適用于震動(dòng)環(huán)境條件下測試

模塊式設(shè)計(jì),適用于各種表面測量(平面& 球面)

2種測試模式: double pass or single pass

可以測量各種透鏡

測量曲率半徑(和相對(duì))及焦長

自動(dòng)測量

高精度步進(jìn)馬達(dá),并帶有編碼器

內(nèi)置自準(zhǔn)直平行光管,保證測試光路jing準(zhǔn),操作簡單

主要技術(shù)指標(biāo)

系統(tǒng)

測試技術(shù)

基于夏克-哈特曼波前測量技術(shù)

測試軟件

Sensoft

測試能力(Single Pass光路)

各種透射性光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng),如透鏡、鏡頭、濾光片等

測試能力(double pass光路)

各種透射及反射性光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng),尤其適合表面測量

工作波長

白光或任意波長(通過濾光片實(shí)現(xiàn)),也可以選激光作為光源

架構(gòu)

立式

電腦

可選,用戶提供標(biāo)準(zhǔn)電腦即可

軟件功能

在Windows XP 下,具有控制及分析計(jì)算功能

自動(dòng)位移臺(tái)

移動(dòng)軸

2 個(gè)垂直移動(dòng) Z 軸位移臺(tái)

技術(shù)

集成了磁性編碼器的步進(jìn)馬達(dá)

步進(jìn)解析度

0.02μm (螺紋間距 1mm)

定位重復(fù)性

0.8μm

行程范圍

150mm each stage for a total of 300mm

長度測試不確定性

8μm

速度

三種速度可調(diào): 慢速/中速/快速

控制軟件

由 Sensoft 控制

外觀

外形尺寸(L x H x D)

600 x 370 x 320 mm (approx)

重量

approx. 20 kg

測試精度(all values at 632.8nm)

澤爾尼克系數(shù)重復(fù)性

λ/300

測試不確定性

λ/20


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