真正的超高真空低溫掃描隧道顯微鏡，該系統(tǒng)提供了多種分析功能、配備了多個超高真空室和相應的電子控制單元與軟件，可以極大地滿足客戶全面的研究應用需要?；鞠到y(tǒng)中提供了低溫4探針掃描隧道顯微鏡（SPM），掃描電子顯微鏡（SEM），樣品準備室和用于傳輸樣品和針尖的快速進樣室。其他的設備如掃描俄歇顯微鏡（SAM）也可選配以滿足客戶特別的研究需要。

上圖是RHK Tech.為美國橡樹嶺國家實驗室安裝的四探針UHV STM系統(tǒng)，配備有：高分辨率的UHV SEM，掃描俄歇分析器（用于XPS、UPS、ISS、Auger和SAM中）。多個空余端口，獨立的準備室，剩余的空間可以與其他的沉積設備wan美結合。

儀器特點：   

- 四個探針都能實現(xiàn)原子分辨；

- 真正的樣品和針尖低溫操作（10K），得到zui佳的高分辨譜圖；

- 探針與樣品獨立地傳輸與準備；

- 所有探針具有先進的控制操作；

- 可升級到非接觸式AFM；

- 樣品臺處配有可選擇的超導磁體；

- 通過光纖實現(xiàn)樣品的光學激發(fā)；

技術參數(shù)：

- 樣品溫度：10K（LHe）；          80K（LN2）

- 掃描范圍：1.5μm（300K）；           500nm （10K）

- X，Y，Z粗進針：±1.5mm/step motion

- 樣品定位精度：±1.5mm

- STM分辨率：四個探針均可實現(xiàn)HOPG的原子分辨

- SEM分辨率：小于20nm

- 針尖材料：鎢或者鉑、金等金屬修飾的鎢針尖。  

單根CNT輸運性質測量