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RF-120系列高頻電源
- 品牌：日本電子
- 型號(hào)： RF-120系列
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
更新時(shí)間：2025-06-06 09:04:17 -
銷(xiāo)售范圍售全國(guó)
入駐年限第7年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類(lèi)產(chǎn)品日本電子 JEOL 掃描電鏡(35件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- 日本JEOL RF-120系列高頻電源，是濺射、刻蝕、CVD、離子鍍等薄膜制備/加工使用的、用于生成等離子體的13.56MHz高頻電源（RF電源）。
詳細(xì)介紹
RF-120系列高頻電源
是濺射、刻蝕、CVD、離子鍍等薄膜制備/加工使用的、用于生成等離子體的13.56MHz高頻電源（RF電源）。產(chǎn)品規(guī)格：
RF-12010
RF-12020
RF-12030
RF-12040
最大輸出功率
750W
1.5kW
3kW
6kW
輸出接頭
N 型
LS2 型
輸入電壓
AC 200V ±10V, 三相, 50/60 Hz
輸入電流
AC 5A
AC 8A
AC 20A
AC 35A
振蕩方式
他激式晶體振蕩
振蕩頻率
13.56MHz ±0.005%
輸出穩(wěn)定度
±0.5％以下 (最大輸出功率, 對(duì)50Ω電阻負(fù)載)
波動(dòng)
1％以下 (最大輸出功率, 對(duì)50Ω電阻負(fù)載)
總諧波失真
- 50dB (最大輸出功率時(shí))
制冷方式
強(qiáng)制空冷
水冷
5～7L/分
5～6.5L/分
外觀尺寸 (mm)
Wide
481
481
481
481
Depth
430
504
504
510
Hight
149
199
199
349
重量(kg)
18
25
27
55
*RF-12040由單元1（149mmH/25kg）和單元2（199mmH/30kg）構(gòu)成。
*外觀尺寸不包括突起部分（背面的風(fēng)扇等）。RF-56000 外觀尺寸 ： 105mm(W)×305mm(D)×145mm(H)
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