德Neaspec真空太赫茲波段近場光學(xué)顯微鏡HV-THz-neaSNOM

該套系統(tǒng)成功地繼承了德國neaspec公司THz-neaSNOM的設(shè)計優(yōu)勢，采用ZG保護(hù)的雙光路設(shè)計，完全可以實現(xiàn)真空環(huán)境下太赫茲波段應(yīng)用的樣品測量。HV-THz-neaSNOM在實現(xiàn)30nm高空間分辨率的同時，由于采用0.1-3THz波段的時域太赫茲光源（THZ-TDS），也可以實現(xiàn)近場太赫茲成像和圖譜的同時測量。這極大地滿足真空環(huán)境中太赫茲近場光學(xué)研究的需求，可以減少大氣中水對太赫茲波段的吸收影響，能更好地保持樣品的潔凈，為用戶進(jìn)一步集成真空設(shè)備提供了基礎(chǔ)。

太赫茲波有極強(qiáng)的穿透性，對不透明物體能完成透視成像，用來做半導(dǎo)體材料、生物樣品等的檢測是其應(yīng)用趨勢之一。該套真空太赫茲波段近場光學(xué)顯微系統(tǒng)（HV-THz-neaSNOM）的集成，將在生物應(yīng)用、半導(dǎo)體元器件和相變材料載流子等研究及領(lǐng)域都有著廣闊的應(yīng)用前景，有望為廣大太赫茲科研工作者提供更多實際研究工作中的便利和支持。