產(chǎn)品簡介

SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，綜合UHV / SIMS 設(shè)備，進行高級的表面分析。可靠的、普遍適用的SIMS分析工作站。

功能特點

整合的離子槍光柵控制和信號選通，進行深度分析

絕緣體研究中的電子流槍用于電荷中和
液氮冷井和真空室烘烤加熱器
自動的SIMS 離子光學透鏡調(diào)諧和質(zhì)量數(shù)列表，使SIMS性能**

技術(shù)參數(shù)

Hiden EQS SIMS 分析儀，運行于 MASsoft O/S 之下，檢測限至ppb級

?基本的激發(fā)源選擇： 帶差式泵的Hiden IG20 Ion，IFG200 FAB或高性能液態(tài)鎵槍
快速樣品傳遞，樣品固定，負載鎖定的操縱器
4 軸：X, Y, Z, θ UHV 操縱器，以**定位樣品
加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，進行SIMS元素成像
靜態(tài)SIMS譜圖庫可用