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高級朗繆爾探針（Langmuir Probe）

品牌：Hiden Analytical
型號： ESPion
產地：歐洲英國
供應商報價：面議

北京英格海德分析技術有限公司更新時間：2021-12-23 16:54:49

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產品等離子體-材料表面(18件)

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聯系方式：010-52722415

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詳細介紹

儀器簡介：
ESPion高級朗繆爾探針（AdvancedLangmuirProbesforElectricalPlasmaCharacterisation）可快速、可靠、精確地進行等離子體診斷，是zuixianjin可靠的朗繆爾探針（LangmuirProbe）。

技術參數：
應用：

蝕刻/沉積/ 清潔等離子體
脈沖等離子體操作
離子密度 (Ni & Gi)
電子溫度(Te)
電子能量分布(EEDF)
電子密度(Ne)
等離子體電位
Debye 長度,懸浮電位

主要特點：
獲得數據速度：每秒15次掃描，通過D-O-E-界面可以自動、半自動或手動分析
Hiden在被動射頻補償方面處于領xian地位，在所有的商業(yè)化探針中 ESPion 具
有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈，使用者可調諧至其他頻率
參考探針補償用于抵制較低頻率影響，例如等離子體電位漂移(例如，反應室
內腔陽極氧化所致) 或噪音(例如，供電源引起)
ESPion 是所有商業(yè)化探針中最快速的脈沖等離子體探針，ESPsoft 包括所有
必需的標準脈沖選通電路
300、600、915mm 自動線性驅動器可選，互鎖隔離閥， 90°探針，組合式
線性－旋轉驅動器可選
自清洗循環(huán)，防止探針污染
經由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制