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產(chǎn)品中心

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非接觸式3D輪廓儀

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產(chǎn)品特點(diǎn)

通過(guò)非接觸式的方法對(duì)0.1nm-270nm的3維表面形貌進(jìn)行高進(jìn)度和高速測(cè)量。利用物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)可方便的進(jìn)行放大倍數(shù)的轉(zhuǎn)換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。

詳細(xì)介紹

Nano View-2400非接觸式3D輪廓儀

NanoSystem NV-2400.jpg

Nano View-2400非接觸式3D輪廓儀LCDIC Package、SubstrateBuild-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的量測(cè).

通過(guò)非接觸式的方法對(duì)0.1nm-270nm3維表面形貌進(jìn)行高進(jìn)度和高速測(cè)量。利用物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)可方便的進(jìn)行放大倍數(shù)的轉(zhuǎn)換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。

 

產(chǎn)品規(guī)格:

干涉物鏡:5個(gè)物鏡可選

掃描范圍:0-180um270um5mm可選)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

傾斜臺(tái):±6°

Z軸行程:100mm(手動(dòng))

工作臺(tái)面:100X100mm(程控)



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