輕松實(shí)現(xiàn)從毫米到納米無(wú)縫轉(zhuǎn)換測(cè)量。

兼具激光顯微鏡和探針顯微鏡功能的一體機(jī)。

輕松檢測(cè)85°尖銳角

采用了有著高N.A. 的專(zhuān)用物鏡和專(zhuān)用光學(xué)系統(tǒng)（能最 大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。

          LEXT 專(zhuān)用物鏡                                        有尖銳角的樣品（剃刀）

高度分辨率10nm，輕松測(cè)量微小輪廓

由于采用405 nm的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4500達(dá)到了0.12μm的平面分辨率。因此，可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨(dú)有的亮度檢測(cè)技術(shù)，OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外， 激光顯微鏡測(cè)量還保證了測(cè)量?jī)x器的兩大指標(biāo)——“正確性”（測(cè)量值與真正值的接近程度）和“重復(fù)性”（多次測(cè)量值的偏差程度）的性能。

           0.12μm行間距                                      高度差標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型B, PTB-5

從大范圍拼接影像中指定目標(biāo)區(qū)域

高倍率影像容易使視場(chǎng)范圍變小，而通過(guò)設(shè)置，OLS4500的拼接功能最多可以拼接625幅影像，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此，還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測(cè)量。