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高清數(shù)字一體機(jī)LZ3000CL(帶測(cè)量)系列

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產(chǎn)品特點(diǎn)

對(duì)晶圓裝載工藝的影響:在自動(dòng)裝載過(guò)程中,凸凹的晶圓容易損壞。如碳化硅襯底加工過(guò)程中,一般還會(huì)在切割工藝時(shí)留有余量,以便在后續(xù)研磨拋光過(guò)程中減小TTV、BOW、Warp的數(shù)值

詳細(xì)介紹

1、采用一體式主鏡體,穩(wěn)定性高、方便管理、操作和使用;

2、標(biāo)配放大倍數(shù):20倍-200倍(工作距離可達(dá)180mm)

3、八條線可根據(jù)參照物去移動(dòng)保存進(jìn)行產(chǎn)品比對(duì);

4、主鏡體具備SD存儲(chǔ)卡,可存儲(chǔ)無(wú)壓縮BMP格式圖片;

5、配套液晶屏:21寸1080P/12寸等。

6、符合國(guó)際視頻1080p標(biāo)準(zhǔn),分辨率達(dá)到1280*1024/1024*768,30幀/秒高速圖像攝取。絕無(wú)拖影、延時(shí)現(xiàn)象;

7、全新的彩色算法,確保圖像顏色真實(shí)再現(xiàn),8:8:8-24bit真彩色圖像,HDMI純數(shù)字高清輸出,支持16:9顯示,色彩可獨(dú)立調(diào)節(jié),特有的多級(jí)寬動(dòng)態(tài)功能。

8、帶測(cè)量支持的單位制:英制、公制,可自由切換,支持單位長(zhǎng)度矯正以及對(duì)測(cè)量結(jié)果的保存(最多7組)

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晶圓幾何量測(cè)系統(tǒng)可自動(dòng)測(cè)量Wafer厚度、彎曲度、翹曲度、粗糙度、膜厚 、外延厚度等參數(shù)。該系統(tǒng)可用于測(cè)量不同大小、不同材料、不同厚度晶圓的幾何參數(shù);晶圓材質(zhì)如碳化硅、藍(lán)寶石、氮化鎵、硅、玻璃片等。它是以下測(cè)量技術(shù)的組合:

光譜共焦技術(shù)測(cè)量Wafer Thickness 、TTV 、LTV 、BOW 、WARP 、TIR 、SORI 等參數(shù),同時(shí)生成Mapping圖;

三維輪廓測(cè)量技術(shù):對(duì)Wafer表面進(jìn)行光學(xué)掃描同時(shí)建立表面3D層析圖像,高效分析晶圓表面形貌、粗糙度、測(cè)量鐳射槽深寬等形貌參數(shù);

白光干涉光譜分析儀,可通過(guò)數(shù)值七點(diǎn)相移算法計(jì)算,以亞納米分辨率測(cè)量晶圓表面的局部度,并實(shí)現(xiàn)膜厚測(cè)量功能;

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環(huán)境試驗(yàn)箱系列

高低溫交變濕熱試驗(yàn)箱

可程式恒溫恒濕試驗(yàn)箱

快速溫變?cè)囼?yàn)箱

冷熱沖擊試驗(yàn)箱

淋雨-IPX1、X2系列

沙塵試驗(yàn)箱

氙燈老化試驗(yàn)箱

UV紫外線老化試驗(yàn)箱

臭氧老化試驗(yàn)箱

換氣老化試驗(yàn)箱

步入式恒溫恒濕試驗(yàn)箱

復(fù)合式鹽霧試驗(yàn)箱

冷熱沖擊試驗(yàn)箱

快速溫變?cè)囼?yàn)箱

恒溫恒濕試驗(yàn)箱

其他非標(biāo)試驗(yàn)箱:

定制步入式

綜合測(cè)試箱

水冷機(jī)試驗(yàn)箱

定制兩廂沖擊試驗(yàn)箱

定制電器行業(yè)綜合試驗(yàn)箱


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