產(chǎn)品介紹

       高低溫探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線(xiàn)與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品參數(shù)

臺(tái)體規(guī)格

尺寸：6英寸/8英寸/12英寸；

水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置；

X-Y移動(dòng)行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；

X-Y移動(dòng)精度：10μm/1μm；
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)；
針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置6~12個(gè)探針座；
平臺(tái)升降：可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm；

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極；

溫度范圍：-80℃~+400℃；

溫度精度：0.01℃/0.1℃/1℃；

尺寸：840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高/950mm長(zhǎng)*700mm寬*700mm高；

設(shè)備重量：約40/60KG；

◆ 光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類(lèi)型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動(dòng)行程：水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動(dòng)4英寸，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；
CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素；

◆ 定位器

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm；

移動(dòng)精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
線(xiàn)纜：同軸線(xiàn)/三軸線(xiàn)；

漏電精度：10pA/100fA/10fA；

固定探針：彈簧固定/管狀固定；
接頭類(lèi)型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線(xiàn)端子；
針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
針尖材質(zhì)：鎢鋼；鈹銅；

◆ 探針可選配件

加熱臺(tái)；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測(cè)試配件；

屏蔽箱；

光學(xué)平臺(tái)；
鍍金卡盤(pán)；
光電測(cè)試配件；

顯微鏡快速傾仰裝置；

激光系統(tǒng)；

探針卡夾具；

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 可用于12英寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試；

2.采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無(wú)結(jié)霜；

3.優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量；

4.可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡；

5.可搭配多種類(lèi)型顯微鏡；