
分子束外延系統(tǒng)
就是在超高真空系統(tǒng)中把所需要的結(jié)晶材料放入到噴射爐中,將噴射爐加熱。使結(jié)晶材料形成分子束,從爐中噴出后,沉積在溫度保持在幾百度的單晶基片上。利用分子束外延不僅制取了雙質(zhì)結(jié)激光器、三維介質(zhì)集成光波導(dǎo),還可以用此法使二種光波導(dǎo)重疊地生長在同一基片上,制成了從一個波導(dǎo)移向另一個波導(dǎo)的錐形輞合器,其耦合系數(shù)接近于100%。
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