德國MBE-Komponenten 分子束外延系統(tǒng) OCTOPLUS 500

OCTOPLUS 500 系統(tǒng)是為了在6英寸襯底上生長高質(zhì)量的III/V族或者II-VI族異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料而研發(fā)的。樣品臺選用熱解石墨加熱或者鎢、鉭加熱絲。OCTOPLUS 500 MBE系統(tǒng)是公認(rèn)的非常適合于III/V族， II/VI族或其他異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料生長應(yīng)用研發(fā)與生產(chǎn)。

OCTOPLUS 500 MBE系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是極高的可靠性和普適性。標(biāo)準(zhǔn)的Octoplus 500有11個(gè)呈放射狀分布的源孔，可以根據(jù)需要增選3個(gè)源孔?？焖俪檎婵者M(jìn)樣室配有水平磁力桿傳輸系統(tǒng)，可以在不破壞MBE腔室真空的前提下，簡便地進(jìn)行樣品傳輸。

OCTOPLUS 500 MBE系統(tǒng)的的主要參數(shù)規(guī)格：

● ID 550 mm

● 應(yīng)用于III/V族， II/VI族或其他異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料

● 最 大6英寸晶片，或7x2英寸晶片

● 進(jìn)樣室和緩沖腔室

● 線性樣品傳輸系統(tǒng)

● 標(biāo)準(zhǔn)法蘭孔數(shù)目(標(biāo)準(zhǔn)11個(gè)，可按要求增加3個(gè))

● 束流源，氣體源，樣品臺

● 抽真空系統(tǒng)(離子吸附泵，分子泵，低溫泵等)

● 原位表征能力

● 軟件/硬件控制系統(tǒng)

● 額外要求可定制