設(shè)備簡(jiǎn)介

_{MFDC680是一款小型直流磁控等離子濺射儀，配有磁控濺射頭 和可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。此款設(shè)配專門制備一些金屬膜。}

技術(shù)參數(shù)

_{輸入電壓：AC208V~240V,50/60Hz}

_{功率：<2500W}

_{輸出：電壓:1600VDC;最大電流:150mA}

_{濺射腔體：石英腔體:67mm 0D.x152mmIDx260mm H}

_{濺射頭&樣品臺(tái)：}

_{2英寸的磁控濺射頭,內(nèi)部嵌有冷卻水管}

_{一個(gè)直徑為50MM的不銹鋼樣品臺(tái),樣品臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng),旋轉(zhuǎn)速率為:0-5RPM}

_{配有一手動(dòng)操作的擋板}

_{樣品臺(tái)和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍:60-100MM}

_{控制面板：所有技術(shù)參數(shù)的設(shè)定都在一6英寸的觸摸屏上操作}

_{可選配置：}

_{雙極旋片真空泵VRD-16，KF25接口}

_{不銹鋼波紋管和卡箍}

_{10L/名的循環(huán)水冷機(jī)}

_{分子泵(可選)：為了達(dá)到更好的鍍膜效果,可選購(gòu)分子泵對(duì)測(cè)射腔體抽真空真空度可達(dá)到10-5Torr}

_{靶材(可選)：}

_{要求靶材尺寸:50mmx0.1-0.5mm(厚度)}

_{重量：20KG}

_{質(zhì)量認(rèn)證&質(zhì)保：}

_{CE認(rèn)證}

_{一年質(zhì)保期,終生維護(hù)}

_{可濺射靶材:Au,Al,Cr,Ni,Pt,Ti,Sn等}