工作原理：激光器打出的脈沖激光經(jīng)激光聚焦模塊后被聚焦到待測樣品表面從而產(chǎn)生高溫等離子體。等離子體冷卻的過程中會向外輻射元素的特征譜線。這些譜線被采集模塊收集到光譜儀，然后終端顯示屏的軟件會對采集到的特征譜線進行分析，根據(jù)不同元素對應(yīng)的光譜曲線特征不同，進而分析出樣品中含的元素種類。

激光探測收集模塊：

激光分析頭

-內(nèi)置模塊：激光分析頭包含Nd:YAG激光器、光斑整形系統(tǒng)、譜儀自動校準系統(tǒng)、信號收集系統(tǒng)、樣品成像系統(tǒng)以及兩束用來定位的指引光。
- 激光燒蝕預(yù)定位：通過指引光預(yù)判燒蝕位置實現(xiàn)激光定位分析；
- 內(nèi)置相機成像：實時觀測樣品，配合指引光和手動微調(diào)架實現(xiàn)定位；

- 內(nèi)置譜儀校準燈：軟件自動校準譜儀

主要參數(shù)：
- 激光：波長1064nm；重復(fù)頻率1 Hz；脈寬<5ns(FWHM)；單脈沖能量35 mJ；RMS：3-5%；
- 能量控制：連續(xù)可調(diào)（通過調(diào)節(jié)泵燈電壓實現(xiàn)）；
- 光斑大小控制：250微米(到達樣品表面的燒蝕光斑直徑)。

工作模式：

- 手持模式：此時分析頭前面需要加上激光安全錐形防護頭，工作距離為0；
- 三角架固定式/固定模式：此時分析頭固定于帶有微調(diào)支架的三腳架上，提高半定量分析的穩(wěn)定性；

光譜儀+探測器

主要參數(shù)：

- 單次探測譜寬：200-1000 nm，基本實現(xiàn)全元素覆蓋；
- 分辨率：0.1-0.2 nm；
- 探測器（CCD）：外觸發(fā)模式下可與激光同步；時間最小門寬500ns；

-連接：光譜儀通過光纖（3合1）與激光分析頭連接（長度3米左右）；

分析軟件：AnaLIBS

AnaLIBS軟件全面控制所有硬件組件，可實現(xiàn)激光自動采樣設(shè)置（網(wǎng)格，線性，單點等）。軟件集成元素特征線的自動標定、譜線背景模擬、多光譜統(tǒng)計處理、標準曲線建立、主成分回歸功能等。