Park NX-Hivac是一款用于失效分析的高精度高性能且易使用的原子力顯微鏡，Park NX-Hivac可為用戶提供精確且高效的測量結(jié)果。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精準(zhǔn)的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術(shù)測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動控制

Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上精細控制真空條件，在抽氣和排氣過程來實現(xiàn)高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更有效。

Park NX-Hivac 技術(shù)參數(shù)

掃描器Z掃描器

柔性引導(dǎo)高推動力掃描器

掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

XY掃描器

閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器

掃描范圍: 100 μm × 100 μm
(可選50 μm × 50 μm)

驅(qū)動臺

Z位移臺行程范圍 : 24 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 11 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 22 mm x 22 mm (Motorized)

樣品架

樣品大小: 尺寸上限為 50 mm x 50 mm, 厚度甚至可達 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學(xué)

10倍長工作距離鏡頭
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 μm (帶10倍物鏡)
CCD : 5 M pixel

物理信息

內(nèi)真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm

高真空

真空等級: 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用渦輪和干式泵在約5分鐘內(nèi)達到 10-5 torr

軟件SmartScan?

AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡易成像
手動模式的使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數(shù)據(jù)分析軟件

真空管理器

自動真空控制軟件

電子

集成功能
4通道靈活的數(shù)字鎖相放大器
彈簧常數(shù)校準(zhǔn)（熱法，可選）
數(shù)字Q控制

外部信號接入
20個嵌入式信號輸入/輸出端口
5個TTL輸出 : EOF、EOL、EOP、調(diào)制和交流偏置