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原子力顯微鏡PZ-6600 AFM

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詳細(xì)介紹

原子力顯微鏡PZ-6600 AFM采用掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體的光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)。高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置可自由移動(dòng)到感興趣的樣品掃描區(qū)域,自由變倍的CCD觀測系統(tǒng)可實(shí)時(shí)觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域。
一、功能特點(diǎn):
1、光機(jī)電一體化設(shè)計(jì),外形結(jié)構(gòu)簡單;
2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體,抗干擾能力強(qiáng);
3、精密激光檢測及探針定位裝置,光斑調(diào)節(jié)簡單,操作方便;
4、采用樣品趨近探針方式,使針尖垂直于樣品掃描;
5、伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制,驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位;
6、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置,可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域;
7、 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇;
8、自由變倍的CCD觀測系統(tǒng),實(shí)時(shí)觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域;
9、采用伺服馬達(dá)控制CCD對(duì)焦和光學(xué)放大;
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù);
11、集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用

二、友好的軟件界面及操作功能:
1、多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時(shí)查看剖面圖;
2、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS(f-RMS)、RMS-間隙(RMS-Z)測量功能;
3、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域;
4、可任意選擇樣品起始掃描角度;
5、激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能;
6、針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能;
7、可任意定義掃描圖像的色板功能;
8、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能;
9、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正;

序號(hào)名  稱參  數(shù)
01工作模式輕敲模式、接觸模式
02樣品尺寸Φ≤90mm;H≤20mm
03最大掃描范圍橫向50um,縱向5um
04掃描分辨率橫向0.2nm,縱向0.05nm
05掃描速率0.6Hz~4.34Hz
06掃描控制XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
07數(shù)據(jù)采樣14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
08掃描角度任意
09樣品移動(dòng)范圍0~20mm
10馬達(dá)趨近脈沖寬度10±2ms
11CCD放大倍數(shù)光學(xué)放大0.6~5X,電子放大40X
12圖像采樣點(diǎn)256×256,512×512
13反饋方式DSP數(shù)字反饋
14反饋采樣速率64.0KHz
15計(jì)算機(jī)接口USB2.0
16運(yùn)行環(huán)境運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)
17儀器重量體積40KG,700*480*450mm


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