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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

品牌：河南諾巴迪
型號(hào)： NBD-PECVD1200-80TID2ZY
產(chǎn)地：河南鄭州
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

河南諾巴迪材料科技有限公司更新時(shí)間：2025-06-06 11:01:56

銷售范圍售全國(guó)

入駐年限第9年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品PECVD系統(tǒng)(1件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

該產(chǎn)品具有固態(tài)等離子源、分開式反應(yīng)氣體進(jìn)氣系統(tǒng)，動(dòng)態(tài)襯底溫控，控制真空系統(tǒng)，采用集中現(xiàn)場(chǎng)控制總線技術(shù)的Nobody控制軟件，以及友好用戶操作界面來操作。適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)或氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。?

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡(jiǎn)介：

該產(chǎn)品是由固態(tài)等離子源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，采用集中總線控制技術(shù)的諾巴迪操作軟件。適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料。

配置詳情

	1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 2. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 3. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 4. 設(shè)備一體化程度高； 5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量；
產(chǎn)品型號(hào)	NBD-PECVD1200-80ITD2ZY
電氣規(guī)格	AC220V 4KW
Max溫度	1200 ℃
連續(xù)溫度	1150℃
加熱速率	≤ 20 ℃/min
射頻電源	300或500W（可根據(jù)需求自選） 13.56MHz
爐管尺寸	Φ80*1200mm
沉積示意圖				如圖所示：此為該設(shè)備沉積過程中的示意圖
控制系統(tǒng)			1.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，實(shí)時(shí)加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實(shí)驗(yàn)報(bào)告自主生成，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。 2.實(shí)驗(yàn)過程更加直觀，操作更加便捷； 3.具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。
溫度精度	+/- 1 ℃
加熱元件			Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金
密封系統(tǒng)
	真空度：≤10Pa（機(jī)械泵-油泵、干泵可選）
壓力測(cè)量與監(jiān)控		采用數(shù)顯真空計(jì)，可使設(shè)備真空度更加直觀，實(shí)驗(yàn)結(jié)果更加準(zhǔn)確。
供氣系統(tǒng)		采用兩路質(zhì)量流量計(jì)精確控制氣體流速，與設(shè)備集成為一體；（可擴(kuò)展至多路）
凈重	360KG
設(shè)備使用注意事項(xiàng)	1. 設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開爐膛，避免受到傷害； 2. 設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力表顯示壓力不得超過0.15MPa，以防止壓力過大造成設(shè)備損壞； 3. 真空下使用時(shí)，設(shè)備使用溫度不得超過800℃； 4. 供氣鋼瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購(gòu)試驗(yàn)用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； 5.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)； 6.高純石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度≦1100℃； 7.加熱的實(shí)驗(yàn)時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若JD壓力表讀數(shù)大于0.15MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。
服務(wù)支持	1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等）； 24小時(shí)服務(wù)熱線：。

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