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低壓化學氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD)
- 品牌：韓國ECOPIA
- 型號： LC-100, LC-102
- 產(chǎn)地：亞洲 韓國
- 供應商報價：面議
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上海載德半導體技術(shù)有限公司
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照
- 同類產(chǎn)品鍍膜機(2件)
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詳細介紹
低壓化學氣相沉積設(shè)備(LPCVD)
產(chǎn)地：韓國Ecopia；
有單管和雙管兩個不同的型號，用于科研或者小規(guī)模生產(chǎn)。
性能和特點：
- 溫度范圍：500 ~ 1000攝氏度；
- 氣體混合能力(帶有質(zhì)量流量計)；
- 真空范圍：~ 10-6 Torr；
典型應用：
- 無應力氮化硅；
- LPCVD；
- 退火；
- 氧化；
- 其他...
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號