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SU3800鎢燈絲掃描電鏡

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詳細(xì)介紹

日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術(shù),使其低電壓性能大大提升,同時(shí)升級(jí)的高靈敏度背散射探測(cè)器和可變壓力探測(cè)器使得SU3800的觀察能力進(jìn)一步提升。SU3800還增加了IFT燈絲監(jiān)控技術(shù)、全新的光鏡導(dǎo)航、集成的能譜以及報(bào)告導(dǎo)出等功能,使其操作也變得更為簡(jiǎn)單。

主要特點(diǎn):  

  • HexBias偏壓鎢燈絲電子槍?zhuān)?nbsp; 

  • 優(yōu)異的高、低電壓性能; 

  • 高靈敏度五分割背散射電子探測(cè)器;  

  • 可變壓力二次電子探測(cè)器(高、低真空可用);  

  • 全新的操作界面和光鏡導(dǎo)航功能;  

  • 全自動(dòng)燈絲設(shè)定和合軸;  

  • 報(bào)告導(dǎo)出和圖片處理;  

  • 可集成的EDS;  

  • 簡(jiǎn)單方便的維護(hù)(燈絲更換視頻); 

應(yīng)用領(lǐng)域: 材料科學(xué)、生命醫(yī)學(xué)、食品衛(wèi)生、半導(dǎo)體電子元器件、汽車(chē)制造等。


主要參數(shù):

?電子槍

預(yù)對(duì)中鎢燈絲

加速電壓

0.3kV – 30kV

分辨率

3.0nm@30kV (SE)

15.0nm@1kV (SE)

4.0nm@30kV (BSE, LV)

放大倍率

5x – 300,000x(底片倍率)

7x – 800,000x(顯示器倍率)

探測(cè)器

二次電子探測(cè)器,高靈敏度無(wú)分割背散射電子探測(cè)器

可變壓力探測(cè)器UVD 2.0*

低真空可變壓力范圍

6 – 650Pa

樣品臺(tái)(三軸馬達(dá))

X: 0 - 100 mm

Y: 0 – 40 mm

Z: 5 – 65 mm

R: 0 – 360°

T: -20° - +90°

*選配


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