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日立Hitachi 離子濺射儀 MC1000

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

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產(chǎn)品特點

日立Hitachi 離子濺射儀 MC1000
。采用LCD觸摸屏，可以更加簡便地設(shè)定加工條件
?？商幚磔^厚或較大的樣品(選配件)
。記憶功能可存儲常用加工條件

日立Hitachi 離子濺射儀 MC1000

特點：

。采用LCD觸摸屏，可以更加簡便地設(shè)定加工條件
?？商幚磔^厚或較大的樣品(選配件)
。記憶功能可存儲常用加工條件

規(guī)格：

項目		說明
放電：	類型：	磁控二極管放電型(電場垂直于磁場)
	電極組成：	反向平行盤(嵌入磁鐵)
	電壓：	最大 0.4 kV DC(直流可變)
	電流：	最大 40 mA DC
噴鍍速率 *1(最大)： [條件]：壓力：7 Pa 放電電流：40 mA 標靶與樣品表面之間的距離：20 mm	Pt 靶(選配件)：	15 nm/min
	Pt-Pd 靶(選配件)：	20 nm/min
	Au 靶(選配件)：	35 nm/min
	Au-Pd 靶(選配件)：	25 nm/min
樣品尺寸：	最大直徑：	φ60 mm
樣品尺寸：	最大高度：	20 mm
機械泵：		135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2：		Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
電源要求：		單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m)
尺寸：	寬度：	450 mm
	長度：	391 mm
	高度：	390 mm
重量：		主機：約 25 kg 機械泵：約 28 kg