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自動(dòng)掃描四探針測(cè)試儀

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詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格:

1. 面電阻量測(cè)范圍: 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)

2. 樣品尺寸:支持10mm300mm wafer

3. 量測(cè)系統(tǒng)包括:Jandel RM3000測(cè)試單元

4. 測(cè)試精度:0.05% at 23

5. 溫度可變范圍:-100 ~ 200

6. 軟件操作簡(jiǎn)單可以支持with Windows XP, Windows 7 Windows 8操作系統(tǒng),USB2.0 USB3.0接口

7. 可選擇量測(cè)晶圓上1, 5, 9, 25, 49, or 121個(gè)測(cè)試點(diǎn)或者自定義量測(cè)圖

8. 可繪制2D3D數(shù)據(jù)結(jié)果圖

9. 輸出電阻,電阻率和厚度等量測(cè)結(jié)果

10. 系統(tǒng)支持JANDEL探測(cè)頭,插入式更換,操作簡(jiǎn)單



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